
Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition

| Serie | Electrical & Electronics Engr |
|---|---|
| Författare | |
| Förlag | John Wiley & Sons |
| Format | Inbunden |
| Språk | Engelska |
| Antal sidor | 760 |
| Vikt | 0 |
| Utgiven | 2000-10-31 |
| ISBN | 9780471246985 |

| Serie | Electrical & Electronics Engr |
|---|---|
| Författare | |
| Förlag | John Wiley & Sons |
| Format | Inbunden |
| Språk | Engelska |
| Antal sidor | 760 |
| Vikt | 0 |
| Utgiven | 2000-10-31 |
| ISBN | 9780471246985 |